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三氟甲烷(电子级)

电子级三氯甲烷(CHF3),纯度99.999%,别名氟仿。无色、无臭、不可燃气体、与可燃性气体 燃烧时分解产生有毒氟化物液体,微电子行业广泛应用的等离子刻蚀气体之一,特别是对二氧化硅膜的刻蚀。还用于低温混合制冷剂,有机合成中间体,红外检测器直接冷却剂等.
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