硅烷SiH4

化学式 SiH4 中文名称 硅烷 英文名称 Silane CASNo. 7803-62-5 分子量 32.118 充装系数 0.3kg/L(气瓶公称工作压为15MPa时) 应用 硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧
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产品详情
 

电子气体部分产品清单

序号

产品

纯度

钢瓶规格/压力或重量

阀门型号

1

乙硼烷

10%B2H6/H2

6N

47L 150Bar

DISS632

2

磷化氢

10%PH3/Ar

6N

47L 150Bar

DISS632

3

硅烷

5%SiH4/He

6N

47L 150Bar

DISS632

4

SiH4:5%+He

6N/6N

44L 1200PSI

CGA350

5

SiH4:5%+N2

5N/6N

44L 1200PSI

CGA350

6

三氯化硼

BCl3

5N

44L 50Kg

DISS634

7

八氟丙烷

C3F8

5N

44L 40Kg

DISS716

8

八氟环丁烷

C4F8

5N

44L 50Kg

DISS716

9

四氟化碳

CF4

5N

44L 30Kg

CGA320

10

CF4:80%+O2

5N/5N

44L

CGA580

11

CF4:95%+O2

5N/5N

44L

CGA580

12

甲烷

CH4

6N

44L

CGA350

13

三氟甲烷

CHF3

5N

44L 31Kg

DISS716

14

CHF3

5N

44L

CGA660

15

氢气

H2

6N

44L 2000PSI

CGA350

16

一氧化二氮(氧化亚氮)

N2O

5N

47L 30Kg

DISS712

17

氨气

NH3

7N

47L 20Kg

DISS720

18

NH3

5N

44L 22.7Kg

CGA660

19

六氟化硫

SF6

5N

47L 50Kg

DISS716

20

SF6

5N

47L

CGA590

21

二氯氢硅

SiH2Cl2

5N

44L 37Kg

DISS636

22

氯化氢

HCl

5N

44L 22.7Kg

CGA330

一、化学性质(易燃易爆品)       
        硅烷的着火和爆炸都是与氧气反应的结果。硅烷对氧和空气极为敏感。具有一定浓度的硅烷在- 180℃的温度下也会与氧发生爆炸反应。固体硅烷与液氧反应非常危险。避免强氧化剂,强碱,卤素。标准状态下气体密度为1.44g/L,液体的相对密度为0.68(-185℃)。蒸气压11mmHg(1mmHg=133.322Pa)(-160℃)、102mmHg(-140℃)、470mmHg(-120℃)。红外光谱波长2191cm-1、914cm-1。在室温时为气体状态,在储存过程中,数月之内无显著分解。因为甲硅烷几乎不溶于润滑脂,可以储存在瓶塞涂有润滑脂的容器内。硅烷的化学性质比烷烃活泼得多,极易被氧化。在与空气接触时可发生自燃。25℃以下与氮不起作用,室温下与烃类化合物不起反应。与氧反应异常激烈,即使在-180℃温度下也会猛烈反应。硅烷与氟氯烃类灭火剂会发生激烈反应,所以不能用这类灭火剂灭火。爆炸极限为0.8%~98%。

二、身体危害:
      1、眼接触:硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。
      2、吸入:1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病,这是由于存在结晶二氧化硅的原因。
      3、暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。
      4、皮肤接触:硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。皮肤接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。
      5、慢性症状:如今不清楚长期暴露于硅烷中对健康的进一步影响。
      6、过度暴露造成的病情恶化 :有皮肤和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中会加重病情。

三、灭火措施:
       适用灭火剂:切断气源灭火。用水雾减少空气中形成的燃烧产物。不要用卤化物类灭火器。从最远的距离用水冷却暴露在火焰中的钢瓶。