10%B2H6/H2

化学式 B2H6 英文名称 Diborane CASNo. 19287-45-7 分子量 27.67 充装系数 0.035kg/L 是气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂,它也曾作为高能燃料用于火箭和
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        B2H6是无色液体。液体密度0.4282g/cm3(沸点,101kPa)。气体密度1.947×10-3g/cm3(沸点,101kPa)。熔点-164.85℃。沸点-92.59℃。临界温度16.71℃。临界压力3.99MPa。180.6K液化。

        B2H6化学性质相当活泼。可自燃,燃烧热很高。与水反应生成硼酸和氢气。与碱金属氢化物可形成越来越复杂的硼氢酸盐。与路易斯碱(L)形成B2H6L,然后再发生异裂或均裂。与烯烃发生加成反应,而端梢氢可被有机基取代或作为亲电子还原剂。用铝氢化钠与三氟化硼,或硼氢化钠与三氟化硼或氯化亚汞反应制取。用于制取纯硼或合成其他硼类和含硼与氮、磷、砷键等的化合物的原料。常作有机反应还原剂、燃料添加剂和p型半导体材料的掺杂剂。

 

电子气体部分产品清单

序号

产品

纯度

钢瓶规格/压力或重量

阀门型号

1

B2H6

10%B2H6/H2

6N

47L 150Bar

DISS632

2

磷化氢

10%PH3/Ar

6N

47L 150Bar

DISS632

3

硅烷

5%SiH4/He

6N

47L 150Bar

DISS632

4

SiH4:5%+He

6N/6N

44L 1200PSI

CGA350

5

SiH4:5%+N2

5N/6N

44L 1200PSI

CGA350

6

三氯化硼

BCl3

5N

44L 50Kg

DISS634

7

八氟丙烷

C3F8

5N

44L 40Kg

DISS716

8

八氟环丁烷

C4F8

5N

44L 50Kg

DISS716

9

四氟化碳

CF4

5N

44L 30Kg

CGA320

10

CF4:80%+O2

5N/5N

44L

CGA580

11

CF4:95%+O2

5N/5N

44L

CGA580

12

甲烷

CH4

6N

44L

CGA350

13

三氟甲烷

CHF3

5N

44L 31Kg

DISS716

14

CHF3

5N

44L

CGA660

15

氢气

H2

6N

44L 2000PSI

CGA350

16

一氧化二氮(氧化亚氮)

N2O

5N

47L 30Kg

DISS712

17

氨气

NH3

7N

47L 20Kg

DISS720

18

NH3

5N

44L 22.7Kg

CGA660

19

六氟化硫

SF6

5N

47L 50Kg

DISS716

20

SF6

5N

47L

CGA590

21

二氯氢硅

SiH2Cl2

5N

44L 37Kg

DISS636

22

氯化氢

HCl

5N

44L 22.7Kg

CGA330

一、B2H6与氢气混合气在太阳能产业中的应用
        在晶体硅电池片生产中,扩散工艺用到POCl3 和 O2,减反射层等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺用到 SiH4、NH3,刻蚀工艺用到 CF4。薄膜太阳能电池则在沉积透明导电膜工序中用到二乙基锌(DEZn)、B2H6,在非晶/微晶硅沉积工序中用到硅烷等。

        双结非晶硅太阳能薄膜光伏电池的技术是薄膜太阳能电池中最成熟的产物。其加工道理为运用硅烷(SiH4)等离子体分解法,经由在硅烷异化B2H6(B2H6)以及磷化氢(PH4)等气体,在低老本基板上(玻璃、不锈钢)高温成膜。其主要短处是资源低、制备利便、不质料瓶颈。




       涉及一种在沉积环境中涂覆用于生产太阳能电池的基材的方法,将第一氧化锌层沉积在基材上,在所述沉积环境中降低锌前体的含量,用B2H6和水的混合物处理所述第一氧化锌层,以便在所述第一氧化锌层上形成许多涂覆晶种,和将第二氧化锌层沉积到所述第一氧化锌层上.能够改善随后可能在所述基材上生长的硅层的材料质量.另外,可以增强相应的太阳能电池中的光散射和随后的光捕集.


二、B2H6在半导体芯片中的应用       
        B2H6,其在半导体工业中用作气态杂质源、离子注入和硼掺杂氧化扩散的掺杂剂,主要用做P-。型半导体芯片生产中的掺杂剂。

三、B2H6在国防工业中的应用        
       B2H6可作为火箭和导弹使用的一种高能燃料。

四、健康危害
       1、吸入高浓度的B2H6出现胸闷、气短、干咳心前区不适;可出现恶心、头痛、发热等症状,重者可发生肺炎,肺水肿,慢性接触可能引起肝肾功能损害,支气管炎。对于不致命的暴露,症状可能几天后小时。

       2、B2H6对粘膜有较强的刺激作用,吸入后会很快侵袭至肺部并引起肺水肿和出血。长时间接触B2H6会损伤肝和肾。接触皮肤能引起严重的局部炎症并能导致皮炎。B2H6还能使嗅觉器官失灵。其毒性比光气和HCN还大。

       3、B2H6急性中毒时一般出现胸部紧束感、咳嗽、呼吸困难、前胸痛、恶心、呕吐等症状。有时,这些症状在中毒后24小时才呈现出来。

       4、长期接触低浓度B2H6时,除了呼吸系统轻度刺激症状之外,还会出现头痛、丧失嗅觉、晕眩、嗜眠、神经官能症、惊厥、肌弛缓、震颤、痉挛、昏迷、脚部紧张感、寒冷等症状。

       5、吸入B2H6的患者,应立即转移至通风良好的无污染区,安置休息并盖毛毯等保暖。如果呼吸微弱或停止,应马上进行输氧或人工呼吸,同时,速叫医生来诊治。

       6、当眼睛或皮肤触伤时,立即用水冲洗患处,至少要冲洗15分钟。也可用3%氨水或1%~5% 三乙醇胺(三羟基代三乙胺)冲洗受伤的皮肤,然后进一步求医诊治。


五、安全防护
       1、工作时须穿戴防护服、胶手套、供气面罩等必要的防护用品,决不能露出皮肤。气体钢瓶要存放在通风良好的室外或强制通风的室内,并且须装有冷冻装置使其温度始终保持在20℃以下。存放地点要远离火源,特别要注意不可与卤素、氧化剂、氧及水接近。定期检查有无分解。用过的钢瓶要用干燥氮气清洗干净。
 
       2、用于B2H6的装置在使用前,必须赶出空气,系统要严格密封,可用氦探漏器探漏。
 
       3、工作场所要通风,保持空气干燥。要配备足够的备用防护用品和应急处理用品。
 
       4、B2H6本身为非腐蚀性气体,但某些生产方法在其过程中产生一些如BF。等腐蚀性气体。B2H6系统可以使用碳钢、不锈钢、蒙乃尔、铬镍铁合金、铜、黄铜、铝合金、镁合金、钛合金哺。,可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯乙烯聚合体、尼龙、氟化橡胶、三氟氯乙烯树脂、普通玻璃、硼硅酸玻璃、石英、石棉、石墨和硅真空润滑脂。不能用聚乙稀、聚酯、聚苯乙烯、聚酰胺、天然橡胶、橡胶、硬质橡胶、脂肪、润滑油、酚醛树脂、纤维素、聚氯乙烯。
 
       5、B2H6一旦燃烧,一般很难扑灭,止住燃烧最有效的方法是止住B2H6的流出。要防止火灾向周围蔓延。水只能作冷却火场中的钢瓶,不可用于灭火。泡沫灭火剂、氟里昂灭火剂都无作用,只有二氧化碳和氮气不与B2H6起反应,能起一定的作用。可用蛋白泡沫灭火。
 
       6、 当B2H6泄漏时,可把湿破布放在泄漏处,然后浇水。大量泄漏时可把整个容器放进水中。当密闭处钢瓶泄漏,可戴正压呼吸器去关阀门,并把钢瓶转移至通风间或露天空旷处,封闭该区,立警示牌。受污染的密闭场所要通风排气,排气送至水洗塔。